金融界 2025 年 1 月 23 日音讯，国家知识产权局信息数据显现，中芯集成电路（宁波）有限公司请求一项名为“MEMS 器材功用层制备办法及 MEMS 器材”的专利，揭露号 CN 119330299 A，请求日期为 2024 年 10 月。

  专利摘要显现，本发明揭露一种 MEMS 器材功用层制备办法及 MEMS 器材，该办法，包含：供给榜首衬底，榜首衬底具有相对的正面和反面；刻蚀榜首衬底的正面，在榜首衬底的正面构成 cavity；供给第二衬底，第二衬底具有相对正面和反面；在第二衬底正面构成刻蚀中止层；将第二衬底的正面与榜首衬底的正面键合，使刻蚀中止层关闭 cavity；对第二衬底的反面进行减薄处理；对第二衬底的反面进行深槽刻蚀，中止在刻蚀中止层，以在 cavity 的上方构成可动功用层图形；去除可动功用层图形与 cavity 之间的刻蚀中止层。本发明可进步 MEMS 器材空腔结构上功用层图形的完整性。

  天眼查资料显现，中芯集成电路（宁波）有限公司，成立于2016年，坐落宁波市，是一家以从事计算机、通讯和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册本钱473304.347718万人民币，实缴本钱473304.347718万人民币。经过天眼查大数据分析，中芯集成电路（宁波）有限公司参加招投标项目34次，知识产权方面有商标信息67条，专利信息429条，此外企业还具有行政许可13个。